我院传感技术研究所MEMS科研团队取得重要科研成果

来源:本站原创点击数:800发布时间:2014-03-31

近日,传感技术研究所MEMS(微机电系统)科研团队成功研制出高性能自旋阀,磁阻变化率MR稳定达到6%,高于产品级传感器芯片的要求(MR达到3-4,即可进行器件的研制),并可进行小批量生产。自旋阀(SV)是GMR传感器实现物理量-磁-电信号转化功能的主体,是GMR传感器的核心技术。这标志着传感技术研究所磁性传感器的研制达到国际领先的水平,并为产品从研发阶段进入小批量生产阶段提供了芯片基础。

项目研制过程中,该团队针对目前生物磁珠存在的问题,克服了纳米生物磁珠制备中存在的瓶颈问题,成功研制出具有强磁性、单分散性、物理和化学特性高度均一的高性能纳米生物磁珠,较现有生物磁珠有了极大的提升。

此外,MEMS科研团队还构建了用于生物分子检测的GMR生物传感器检测平台,成功开发了基于MEMS工艺的微机电纳微分子生物传感器和测试系统,近期完成的传感器性能测试,目前已进入了研发后期。该平台结合微流控技术,预期可形成灵敏度高、快速、方便的片上实验室系统,将广泛应用疾病诊断、药物筛选、食品卫生检验、农业等方面。

MEMS科研团队是传感技术研究所响应省委、省政府关于引进急需紧缺人才工作精神,并根据学科领域发展要求,于2011年成功从美国硅谷引进的科研团队。该团队由张彪(团队负责人)、孟庆茹、史宏勤3位博士组成,长期致力于微机电传感器,尤其是微机电磁性传感器、微机电光信号空间调制解调传感器的研发。3年来,在所长韩根亮的带领下,该团队以当前国际先进MEMS传感器技术为主要方向,致力于MEMS传感器科研方向的拓展、科研人员的培训、研发线的建设和高端磁性传感器产品等。目前,由该团队自行设计的国际先进的MEMS研发线已在该所投入使用。其中,自行设计定制的带有氧化腔的八靶磁控溅射系统能够满足GMR和TMR传感器的制备工艺要求,处于国际领先地位。

在MEMS科研团队的指导和帮助下,传感技术研究所在自旋电子、磁性纳米材料、MEMS工艺、集成电路、生物传感器等领域的研发工作均取得了突破性的进展,也为该所培养了结构更加合理、素质更加优良、更具有吸收、融合外部先进文化能力的科研创新团队,从而为全面提升传感技术研究所科研创新能力和服务地方经济建设能力做出了宝贵贡献。